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氣動(dòng)波紋管泵的特點(diǎn)是什么

更新時(shí)間:2023-05-08      瀏覽次數(shù):460

FLP系列的特點(diǎn)

  • 低脈動(dòng)

  • 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將波紋管的運(yùn)動(dòng)控制到消除泵脈動(dòng)的最佳相位。實(shí)現(xiàn)極低脈動(dòng)運(yùn)行。( PAT。)

  • 適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性

  • 通過(guò)進(jìn)行相位控制,提高了負(fù)載變動(dòng)時(shí)的跟蹤性能。特別是在單晶圓工藝等壓力波動(dòng)頻繁的生產(chǎn)線中,其高負(fù)載跟隨性可實(shí)現(xiàn)吐出量和吐出壓力的穩(wěn)定運(yùn)行。

  • 無(wú)需阻尼器,節(jié)省空間

  • 由于不需要安裝阻尼器,因此可以節(jié)省設(shè)備空間。配管作業(yè)簡(jiǎn)單,可減少氟樹(shù)脂接頭等昂貴的配管材料,有助于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型輕量化。

  • 安全設(shè)計(jì)

  • 波紋管焊接結(jié)構(gòu),防止漏液,即使波紋管破損,采用漏液傳感器檢測(cè)漏液情況


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